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清洁度检测中对于检测滤膜杂质分布的分析一个可以评价的分析滤膜需满足杂质颗粒无重叠、无结块且平均分布的要求。为确保滤膜可评价，以下几点至关重要：
杂质分布百分比： 定义：颗粒在分析膜片表面上的分布密度百分比。 重要性：通过光学分析系统确认并记录，界限值与膜片种类相关。 杂质分布的均质性： 定义：颗粒在分析膜片表面的均匀分布状态。 关注点：避免颗粒结块或大部分颗粒聚集在边缘。 纤维的分布： 特点：纤维长度较长，可能覆盖大片滤膜，影响其他颗粒的计数。 处理：需特别注意纤维对杂质分布的影响。 当滤膜分布无法评价时，应重新选取同一批次零件进行杂质提取及过滤。为改善杂质分布，可采取以下方法： 使用更大的滤膜：前提为过滤装置及分析系统支持。 分多个滤膜过滤：尤其适用于截留大量微小颗粒时，选择大孔径滤膜减少重叠风险，但需注意探测区域与背景对比度的弱化。 采用分级过滤：利用不同孔径滤膜截留不同大小颗粒，提高分析准确性。
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